Topographien

Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen (z. B. Mikrochips). Die geometrische Gestaltung der Topographien ist nach dem Halbleiterschutzgesetz schutzfähig. Topographien können beim Deutschen Patent- und Markenamt zur Eintragung in ein Register angemeldet werden.






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